pecvd工序高温危险源有哪些
2023-08-16 分类：百科
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• 危险特性：易燃，与空气混合能形成爆炸性混合物，遇明火、高热能引起燃烧、爆炸，与氟、氯等接触会发生剧烈的化学反应，若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。危险类别：易燃易爆
预防措施：不要在VMB附近逗留或倚 靠，更不允许私自打开柜子
应急处理：发生SiH4泄漏时，及时疏散车间员工，设备人员及时将按下设备电气急停按钮，如发生NH3泄露及时疏散产线员工
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