均量线参数设置
2023-07-24 分类:百科
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均量线参数的具体设置为
Crystal Orientation <100>±3 Degree(度)
(晶体取向)
Resistivity(电阻系数) 0.5~3 Q-cm
Life Time(少子寿命) =10 μS
Oxygen Contents (氧含量) <1x10Batcm?
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