碳化硅衬底是硅片么
2023-07-05 分类:百科
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是硅片。
衬底就是裸晶圆片,指的是一片纯硅片或碳化硅片。
碳化硅衬底是新近发展的宽禁带半导体的核心材料,碳化硅衬底主要用于微波电子、电力电子等领域,处于宽禁带半导体产业链的前端,是前沿、基础的核心关键材料。4H-SiC具有3.2(eV)的禁带宽度,2.00饱和电子漂移速率(107 cm/s),3.5击穿电场强度(MV/cm)以及4.00热导率(W·cm-1·K-1),具有数倍于硅基的优势。
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