单晶硅拉晶炉原理
2023-06-14 分类:百科
TIPS:本文共有 120 个字,阅读大概需要 1 分钟。
首先搞清楚四个基本概念、晶体、非晶体、单晶、多晶。
直拉法制备单晶硅原理:将多晶硅通过热场加热,融化成熔融状态,通过控制热场将液面温度控制在结晶的临界点,通过液面上方的单晶籽晶从液面向上提拉,溶硅随着籽晶的提拉上升按照籽晶的晶向生长出单晶硅圆
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首先搞清楚四个基本概念、晶体、非晶体、单晶、多晶。
直拉法制备单晶硅原理:将多晶硅通过热场加热,融化成熔融状态,通过控制热场将液面温度控制在结晶的临界点,通过液面上方的单晶籽晶从液面向上提拉,溶硅随着籽晶的提拉上升按照籽晶的晶向生长出单晶硅圆
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